超纯水激光粒子监测仪： Ultra DI
Ultra DI粒子监测仪特定用于监测去离子超纯水系统，它可以计算和测量到0.03 微米的微粒污染。Ultra DI粒子监测仪的巨大采样量，低零计数和高计数效率证明了它的卓越性能。
Ultra DI 规格说明 (198.0 KB)
好处
- 快速分析
- Ultra DI粒子监测仪的大采样量意味着能够快速获得统计数据
- 快速清除以节省时间，能够快速从一个采样点转移到另一个采样点
- 缩短采样间隔时间以加快微粒分析
- 改善制程
- 以大采样量和超低零计数来增加统计数据，检测低至中范围内的漂移
- 实时监测，迅速对粒子污染作出反应
- Facility Net 软件控制更多的复杂程序，包括文数传呼、传感器状态、制表和SPC图表、时间图和历史时间日志记录
- 设置紧凑的制程控制极限，带有低采样到采样变化
- 检测敏感度至0.05微米的制程变化
- 使用方便
- 使用已有的网络（以太网至Facility Net软件的连通）
- 以4-20 mA通讯直接与PLC和SCADA系统连接
- 臭氧水兼容
- 不锈钢外壳，采用Ultra DI粒子监测仪使用的双HEPA过滤
应用
- 高级超纯水系统的粒子浓缩达标
- 粒子测量过滤效率
- 底粒子浓缩的趋势分析
- 高纯水系统的细菌生长检测
- 粒子事件追踪和报警
- 生产流程控制
- 超纯水系统粒子持续监测
特点
- 宇宙光线去除为了得到超低零计数：最低的背景干扰
- 灵敏度到0.05 微米
- 以太网连接 Facility Net
- 高流量
- 三个4-20毫安输出
什么样的粒子监测仪最适合您？超纯水（UPW）和超净液体的测量 (277.1 KB)
比较用于分析高纯水的粒子监测仪的性能特点 (1.8 MB)
下表显示了液体粒子监测仪的采样流量差别是如何影响检测特定容积液体所需要的时间的。如果粒子浓度为0.5个/毫升，那么在40毫升的液体中只能检测到20个粒子。
| 粒子监测仪 | 采样流量 | 检测1升液体所需时间 | 检测40毫升液体所需时间 |
|---|---|---|---|
| Ultra DI50超纯水粒子监测仪 | 3.75 毫升/分钟 | 4.4小时 | 10.6分钟 |
| HSLIS M50液体粒子监测仪 | 0.25 毫升/分钟 | 2.8天 | 2小时40分钟 |
| 其它厂家生产的液体粒子监测仪 | 0.1 毫升/分钟 | 6.9天 | 6小时40分钟 |
Ultra DI® 是粒子监测系统有限公司的注册商标。
美国专利和应用：美国 4798465; 日本 2786187; 德国 3712665C2; 美国专利正在申请之中。
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