Liquistat液体光学粒子计数器

Liquistat粒子计数器采用高精度的体积采样技术，能监测如氢氟酸等大多数腐蚀性制程化学品，能够通监测大体积采样量，进行精确度非常高的监测。

Liquistat采用“Inviscid Jet”专利技术——这是一种独特的监测灵敏度非常高的光学设计技术。计数器将样本注入无窗腔室中，并仅在此区域采样，从而排除了由样本室窗户上的激光散射导致的背景噪声。

下载 Click here to signup and download files (LiQuistat 规格说明) 样本

好处

更严格的制程控制
单位时间内比其它同类设备监测更多的液体粒子
体积监测，精确度高
高流量、100%体积监测，制程达标速度更快
监测精准度高，样本误差小
减小产品缺陷率：采样时间间隔短，对粒子浓度变化的反应快
“Inviscid Jet”技术，监测灵敏度高
容易使用
可选购Facility Net软件，简化数据采集和分析
可利用现有的以太网连接Facility Net制程监测软件
通过4-20mA输出轻松连接SCADA和PLC系统
可轻松安装在固定架或工作台上
功能强劲的Facility Net软件具有文数传呼、数据存档/调取、时间图和SPC表等功能
安全性强
内置漏液检测装置，提高了安全性能
聚丙烯外表面材料可抗化学腐蚀，适用于大多数化学品

应用

在线监测湿式清洗台
湿式清洗台规则达标
监测化工制造和分配系统
测试化学过滤器
监测冲洗槽
监测湿式蚀刻程序

Click here to signup and download files (用于300 mm Fabs的超纯水粒子监测新策略)

LiQuilaz® 是粒子监测系统有限公司的注册商标。
专利和应用：美国 4798465; 日本 2786187; 德国 3712665C2; 美国 5861950; 日本 3335645; 德国 69801825.7-08

精准质控始自精准监测

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