光学液体粒子监测仪：HSLIS M50e
HSLIS e系列产品对超纯水和制程化学药品中的粒子污染程度进行持续的实时监测。本系列产品具有敏感度高、价格低的优势，当需要同时使用大量传感器时，本产品的优势就更加明显。本产品在监测超纯水时，其敏感度高达 0.05 微米。
Micro LPC 101HP 规格说明 (211.4 KB)
好处
- 持续实时监测，对粒子事件反应迅速
- 粒子监测的敏感度极高，能够提高成品率
- 采用行业标准的超纯水粒子监测仪，简化了地域间比较
- 通过已有的以太网来监控多台粒子监测仪，以降低总体费用
- 低起始投资，低维修成本，经验证的可靠的HSLIS设计
应用
- 超纯水系统的粒子浓度达标
- 粒子监测化学传递系统
- 过滤效率测量
- 超纯水系统中的细菌生长监测
- 粒子事件追踪和报警
- 持续的系统粒子监测
特点
- 监测超纯水的敏感度为 0.05 微米，监测制程化学品的敏感度为0.065微米
- 通过以太网与 Facility Net 软件相连
- 高流量，100-300毫升/分钟
- 密封外壳，提供UL 1604标准设计
- 5个4-20 mA输出
HSLIS M65eS，含LS 50e注射进样器规格说明 (262.5 KB)
什么样的粒子监测仪最适合您？超纯水（UPW）和超净液体的测量 (277.1 KB)
使用HSLIS M-50监测超纯水系统 (249.5 KB)
下表显示了液体粒子监测仪的采样流量差别是如何影响检测特定容积液体所需要的时间的。如果粒子浓度为0.5个/毫升，那么在40毫升的液体中只能检测到20个粒子。
| 粒子监测仪 | 采样流量 | 检测1升液体所需时间 | 检测40毫升液体所需时间 |
|---|---|---|---|
| Ultra DI50超纯水粒子监测仪 | 3.75毫升/分钟 | 4.4小时 | 10.6分钟 |
| HSLIS M50液体粒子监测仪 | 0.25毫升/分钟 | 2.8天 | 2小时40分钟 |
| 其它厂家生产的液体粒子监测仪 | 0.1毫升/分钟 | 6.9天 | 6小时40分钟 |
HSLIS e系列产品为非全量体积的液体粒子监测仪和分光计，它监测超纯水和制程化学品的滤波器效率和粒子污染。 HSLIS 系列产品监测超纯水的敏感度为 0.05 微米，监测制程化学品的敏感度为0.065微米。流量从 100 到 300 毫升每分钟。本产品可有 4个粒径通道，分光计由16个粒径通道构成，为标准严格的科研和质量控制应用提供出色的解析度。
本款粒子监测仪经CE认证。
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