CLS-700T 腐蚀性液体粒子记数器
CLS-700T腐蚀性液体采样器是一款压缩采样器，装有LiQuilaz®粒子计数器，能够有效监测非高压容器中的液体，是监测活跃化学品的理想工具。系统通过样本加压，清除气泡，从而解决了气泡问题。
CLS-700T腐蚀性液体采样器可以装在湿式工作站中，用于连续监测粒子；也可以装在小车上，增加移动的灵活性。如果安装在湿式工作台中，可以用制程工具来启动或关闭采样器。更换槽液时，采样器自动关闭，以防化学品泡沫或空气进入粒子计数器。CLS-700T腐蚀性液体采样器完全满足制程化学品粒子监测的标准——SEMI C1标准。
晶片的InSitu粒子监测新技术 (1.7 MB)
好处
- 降低成本
- 50或80mL/分钟流量，100%全量监测，有利于更快的制程确认
- 实时状态描述和分析，对异常事件立即作出反应，从而减少化学品的浪费
- 应用广泛
- 适用于多种化学液体
- 可设置粒径范围
- 便于移动
- 压缩采样适用于监测大部份化学品，包括活跃化性学品
- 外部触发器协调采样过程
- 直接从槽液中得出粒子监测结果
- 使用方便
- Facility Net程序控制软件具有文数传呼、传感器状态显示、SPC图表、时间图表等功能，简化在线采样
- SamplerSight批次采样软件便于全面管理数据，包括复杂的数据储存、调取、报告
- 更换化学液体时可快速清洗仪器
应用
- 监测活跃化学液体中的粒子
- 湿式制程监测
- 化学制程控制
- 槽液监测
粒子监测中的挑战 (360.0 KB)
本款粒子监测仪经CE认证。
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