CLS-700T 腐蚀性液体粒子记数器

CLS-700T腐蚀性液体采样器是一款压缩采样器,装有LiQuilaz®粒子计数器,能够有效监测非高压容器中的液体,是监测活跃化学品的理想工具。系统通过样本加压,清除气泡,从而解决了气泡问题。

CLS-700T腐蚀性液体采样器可以装在湿式工作站中,用于连续监测粒子;也可以装在小车上,增加移动的灵活性。如果安装在湿式工作台中,可以用制程工具来启动或关闭采样器。更换槽液时,采样器自动关闭,以防化学品泡沫或空气进入粒子计数器。CLS-700T腐蚀性液体采样器完全满足制程化学品粒子监测的标准——SEMI C1标准。

液体粒子监测仪: CLS 700

晶片的InSitu粒子监测新技术 (1.7 MB)

好处
  • 降低成本
  • 50或80mL/分钟流量,100%全量监测,有利于更快的制程确认
  • 实时状态描述和分析,对异常事件立即作出反应,从而减少化学品的浪费
  • 应用广泛
  • 适用于多种化学液体
  • 可设置粒径范围
  • 便于移动
  • 压缩采样适用于监测大部份化学品,包括活跃化性学品
  • 外部触发器协调采样过程
  • 直接从槽液中得出粒子监测结果
  • 使用方便
  • Facility Net程序控制软件具有文数传呼、传感器状态显示、SPC图表、时间图表等功能,简化在线采样
  • SamplerSight批次采样软件便于全面管理数据,包括复杂的数据储存、调取、报告
  • 更换化学液体时可快速清洗仪器
应用
  • 监测活跃化学液体中的粒子
  • 湿式制程监测
  • 化学制程控制
  • 槽液监测

粒子监测中的挑战 (360.0 KB)

本款粒子监测仪经CE认证。

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