腐蚀性液体采样器： CLS-1000
粒子监测系统有限公司生产的CLS-1000腐蚀性液体采样器是一种压缩采样器，装有Liquistat®容量粒子记数器，可监测温度高达90℃的化学液体。泄漏检测和空气净化等内置安全性能，使CLS-1000成为在湿式工作台中监测危险化学品和酸液的理想工具。本款系统具有应用广、可靠性高的优点，可以安装在小车上，用于制程之间采样，非常灵活轻便。
压缩采样器排除了由活跃热腐蚀液中的气泡造成的不稳定数据。CLS-1000腐蚀性液体采样器完全满足制程化学品粒子监测的最新标准——SEMI C1标准。
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粒子监测中的挑战 (360.0 KB)
好处
- 减少缺陷
- 采样周期短，便于快速发现异常情况
- 采样量大，适用于更严格的制程控制，有利于减少数据误差
- 超洁净处理的监测灵敏度达0.1um
- 提高生产效率
- 50mL/分钟流量和100%体积监测，便于更快的制程达标
- 实时采集数据，湿式工作台维修保养间隔要求更长
- 降低成本
- 用户可选择监测体积，节省贵重化学品
- 压缩采样使仪器能够监测大多数化学品，包括温度高达90℃的活跃化学品
- 便携式设计，便于在工厂各处使用
- 内置安全性能
- 内置式泄漏检测和防漏装置
- 聚丙烯防腐蚀外壳
- 净化空气装置将危险气体排出机壳，防止仪器内部腐蚀
- 状态显示器
应用
- 湿式制程监测
- 槽液监测
- 化学品质量保证监测
- 一般性产品监测
CLS 1000 规格说明 (209.3 KB)
带有增压粒子监测仪的便携式Liquid In Situ液体粒子监测 (581.0 KB)
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