Liquistat超纯水液体粒子监测
Liquistat 液体粒子监测仪用于抽取样品中高精密的粒子分析，采用 “Inviscid Jet” 专利技术，这是一种高灵敏度的独特光学设计。Liquistat将样液注入无窗室内，并仅在此区间取样，这就消除了由于取样毛细管中光散射所引起的背景干扰。
什么样的粒子监测仪最适合您？超纯水（UPW）和超净液体的测量 (712.5 KB)
- 在同等时间下比其它液体粒子监测仪测得更多的颗粒
- 通过体积测量获得更高的粒子计数精确度
- 适应快速制程中的大流量和100%的体积监测
- 低样品变化，高精度测量
- 较短的抽取样品间隔，对制程化学品的快速反应
- “Inviscid Jet”技术提供高灵敏度
- Facility Net 软件简化了粒子数据收集和分析
- 利用已有的以太网络连接Facility Net制程监测软件
- 用4-20 mA输出与SCADA和PLC通讯
- 可方便地安装在固定架子上或工作台内
- 强大的Facility Net软件提供了文数传呼、数据存档和恢复、图表制作等功能
- 漏液检测器增加了安全系数，耐腐蚀的材质可安全地测试大多数的化学品
- 使用方便、安全
- 腐蚀工作台的在线液体粒子监测
- 可在腐蚀工作台使用
- 化工制造业和分配系统的粒子监测
- 化学品过滤器的粒子测试
- 冲洗室的粒子监测
- 湿气蚀刻程序粒子监测
Liquistat 规格说明 (186.8 KB)
用于300 mm Fabs的超纯水粒子监测新策略 (249.6 KB)
带有LS 50e采样注射器的HSLIS M65eS规格说明 (1.6 MB)
液体粒子监测仪：Liquistat 是一款在线粒子监测仪，用于制造业、腐蚀性化学药品业和超纯水行业。在流速高达50毫升/分钟时，其样品体积监测率达到百分之百。在同等时间下，Liquistat比其它液体粒子监测仪测得更多的颗粒。即使抽取样品的间隔时间比较短，本仪器也能提供精确的监测结果。较短的取样间隔使得误差的通知更加迅速，制程的控制更加紧密。大样品体积和0.1微米的敏感度使得 Liquistat 能够有效测量最干净的液体。
粒子监测系统有限公司的“Inviscid Jet”专利技术是一种独特的光学设计，可有效监测大多数的制程化学品（包括氢氟酸），其精确达 0.1微米。光学粒子监测仪的背景干扰源之一是采样细管上的激光散射，而Liquistat将样液注入无窗室内，并仅在此区间取样，这就消除了这种背景干扰。
Liquistat 液体粒子监测仪由聚丙烯材料制造，工作电压为 24 伏特，因此在安装设备时无需拉电缆。设备的前板上装有状态指示灯，显示电源和工作状态。设备同时拥有3个频道的4-20mA输出，其中2个频道用于显示粒子监测结果，1个频道用于显示设备的工作状态。
Liquistat液体粒子监测仪以5种不同的粒径收集数据，第一通道可在 0.1 至 0.15微米之间进行调整。通过乙太网将Liquistat 与 Facility Net 软件相连，从而形成一套功能强大的设施监测系统，使软件使操作员能够收集、追踪、报告来自各种粒子的监测数值。 实时的动态数据可生成不同格式的图表，包括时间图表、柱状图、SPC 图表等。
LiQuilaz® 是粒子监测系统有限公司的注册商标。
专利和应用：美国 4798465; 日本 2786187; 德国 3712665C2; 美国 5861950; 日本 3335645; 德国 69801825.7-08
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