LiQuilaz 液体粒子监测仪
LiQuilaz粒子监测仪可以监测一定体积液体内的多种尺寸的微粒，最小监测粒径为0.2微米。它能对大多数制程化学品进行高精确度的分析，包括氢氟酸以及温度高达150°C的热腐蚀性化学品。
在测量100%采样量（80 毫升/分钟）时，测定体积的粒子监测仪能提供最高精确度。可采用较短的采样间隔，以确保统计结果的准确性。
好处
- 提高成品率
- 对粒子浓度进行实时表征和分析，以便能够对粒子污染作出迅速反应
- 体积测量提供更高的精确度、更紧密的制程控制
- 可选的软件提供报警设定、状态显示、采样设定、在线支持等功能，使得制程控制更为简便
- 应用广泛
- 支持广泛的应用，各种不同的液体
- 采用压缩式或注射式采样器
- 适用各种不同的切管标准
- 在线和分批取样功能
- RS-485 网络兼容
- 使用方便
- 体积小巧，可轻易安装在制程中的任何地方
- 功能灵活的软件使得用户能够选择不同的格式来查看实时的或调取的数据
- 使户可选择粒子的径度
应用
- 使用压缩采样提供化学品测试
- 化学品的质量保证
- 制程批量监测
- 去离子超纯水监测
- 化学传递系统
- 光阻材料监测
特点
- 灵敏度范围为 0.2 - 20.0 微米
- 15个可由用户调整的测量通道
- 测定体积——100%检测量
- 在线和分批取样
- 适用于大多数制程化学品，包括 HF
- 系统结构小巧
LiQuilaz 规格说明 (208.2 KB)
LiQuilaz E20 规格说明 (265.2 KB)
LiQuilaz维修和清洁保养程序 (179.2 KB)
激光颗粒计数仪: LiQuilaz 粒子监测仪提供精确的液体粒子测量，应用于广泛的液体粒子监测。从分批采样到在线监测， LiQuilaz 粒子监测仪能够测量各种不同折射率、粘度和操作温度的液体粒子。LiQuilaz的传感器包含光具座和电子器件，能够在15个通道内发现最小粒径为0.2 微米的粒子。粒径范围可以通过软件来调整，这就使操作人员能够对粒子的粒度和浓度作出精确的测量。
来自 LiQuilaz 粒子监测仪的样品数据由功能强大的 Windows 平台软件（即 Pharmaceutical Net 软件）加以分析处理。Pharmaceutical Net软件帮助操作人员以不同的格式来采集、显示、储存、报告分析数据。该软件是一种使用起来非常灵活的软件，既可以作为简单的监测工具来用，也可以作为复杂的分析系统来用。
本款粒子监测仪经CE认证。
LiQuilaz® 是粒子监测系统有限公司的注册商标。
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