高压激光粒子监测仪Micro 101 HP
监测管路中的增压气体。系统将数据输出至外接的打印机或电脑中。
高压管路气体粒子监测 (155.2 KB)
好处
- 高压气体系统的速度分配
- 检测气体中的粒子以免其影响成品率
- 系统包含2种设备：采样传感器和数据系统
- 检验规格
- 检测制程规格
- 定量系统变化达标
- 精确测量粒子尺寸
- 兼容 Facility Net 软件的数据管理功能，包括全面的数据储存、管理、报告和警报
- 被动空腔设计，需要较少的维护
- 不像其它系统，HPGP 在监测时无需流体通过
- 监测管路中的增压气体
- 改善制程控制
- 可靠性高
应用
- 气体分配系统规格达标
- 制程气体监测
特点
- 0.1 SCFM 流量的敏感度为0.1微米
- 8个粒径通道
- 在线压力范围为40 到 150psig
- 被动式光学内腔
- 制程气体的侧流监测
- 计算机界面
- 可选的外接热感打印机
Micro LPC 101HP 规格说明 (172.6 KB)
激光粒子监测仪：Micro LPC 101-HP高压激光粒子监测仪用于监测管路高压气体，以取代利用对周围气体加压的常规气体监测方法。
Micro LPC 101-HP由采样感应器和数据系统组成。提供8个粒径通道。 在0.1 SCFM流量、入气管线压力为40 到 150 psig时，其监测的最小粒径为 0.1微米。
Micro LPC 101-HP使用 5英寸的CRT显示器和字母数字键盘。可将次数多达50次的采样及储存数据编入系统程序之中。
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