高压气体探测器（HPGP-101-C）粒子监测仪
监测制程压力气体中的污染物。仪器包含探测器和用于采集和报告数据的数据系统。
HPGP 101c 规格说明 (207.2 KB)
好处
- 高压气体系统的速度分配
- 检测气体中的粒子以免其影响成品率
- 兼容氢、氧以及大多数无毒气体
- 检验规格
- 检测制程规格
- 定量系统变化达标
- 精确测量粒子尺寸
- 兼容Facility Net软件的数据管理功能，包括全面的数据储存、管理、报告和警报
- 被动空腔设计，需要较少的维护
- 不像其它系统，HPGP 在监测时无需流体通过
- 纯惰性气体确保安全
- 管路采样气体泄露时会切断电源
应用
- 气体分配系统规格达标
- 制程气体监测
- 放射性气体监测
特点
- 0.1 SCFM 流量的敏感度为0.1微米
- 8个粒径通道
- 在线压力范围为40 到 150psig
- 被动式激光内腔
- 多重处理布署探测器系统
- 安全的仪器外壳
- 双重探测器运作
- 氧和氢相容性
高压管路气体粒子监测 (155.2 KB)
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激光粒子监测仪：制程气体经常地被用于制造业的环境之中。使用管路高压气体，能够最有效地监测粒子水平。HPGP高压气体探测器的工作压力范围为40 到 150psig。0.1 SCFM流量的灵敏度是0.1微米。探测器被安装在一个圆筒形的压力容器内，压力容器起到安全外壳的作用。在运作时，容器内的污染物与干燥的氮一起被加压。如果压力管路向周围泄漏气体，或气体向内泄露进入容器内，则仪器的电源会被切断。金属入口表面为电镀抛光的不锈钢材料，与无毒气体和空气悬浮粒子相兼容。
系统包含HPGP粒子监测仪和 PDS- PA 数据采集系统，带有外接打印机。8个粒径通道显示在 5英寸的CRT显示屏上，以备值机员检视。数据被制成表格或分布图的格式，数据可按分别的方式或累积的方式显示出来。
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