Surfex 设置工作说明表

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  1. 请列明全部待测的零部件，包括：
    1. 尺寸、
    2. 零部件的材料、
    3. 基本说明（举例：托盘、FOUP、固体部件）
    注：如果清单上没有包括偶尔需要清洁的零部件，请将这些零部件加在清单上。
  2. 能将所有的零部件一起放入清单容器吗？
  6. 需要控制水温吗？
  7. 水流要求是什么？ /

  11. 注：高于1000等级的净室要求HEPA过滤功能选项。
  12. 能否提供干燥洁净的空气或80 - 150psi气压下2 CFM流量的氮气？
  13. 能否提供60psi压力下10 LPM流量的去离子超纯水？
  14. 是否还有其它特殊要求？

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303-443-7100 or 1-800-238-1801
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