微环境粒子监测仪：MiniNet

向300mm晶片工艺方向转移的工业使用微环境已经成为半导体行业无尘室的一个主要特征。因为相似的原因，数据储存和制药业也已经向在工具外部安装紧密的外壳这一方向转移。

尽管清洁度大幅增加，微环境仍然要求对粒子进行监测。然而，这种新的环境具有明显的特性，需要新的监测技术和仪器。

基于我们在微污染管理的数年工业领导经验，粒子监测系统有限公司已经开发出MiniNet，并且申请了专利。这是一款完全新型的程序监测仪，特地为监测微环境而设计。MiniNet 是一种程序监测仪，用来帮助工具用户发现并诊断在哪一生产量可能被微粒子挤入。