环境监测仪：MiniNet

微环境监测的重要性

半导体行业致力于降低生产成本，提高计算机芯片的性能。达到这一目标的关键方法是减小芯片尺寸，在 300 mm晶圆上 “挤入”更多芯片。随着半导体行业实现 300 mm技术，能够影响芯片性能的粒子越来越小。解决这一难题的方法就是开发清洁度更高的制造程序。

微环境（或隔离设备）是半导体制程中的关键设计要素，在数据存储行业和制药行业中也是如此。人们用防护性外壳将制造工具紧紧包裹起来，从而大大减少清洁用气的需要量。再结合其它设计要素（例如机械手臂、过滤器、晶舟等），人们完全可以使微环境比上一代洁净室清洁100倍。

虽然微环境的清洁度非常高，人们仍然必须对其进行不间断的实时粒子监测。这是因为，虽然人们可以使微环境变得清洁，但不可能使它永远保持清洁。随着时间的推移，机械手臂开始磨损，晶舟槽位失去校准，造成晶圆破损。当此类事件发生时，只有实时粒子监测设备能够在第一时间发出警报。

当粒子事件发生时，那些粒子会很接近产品，从而增加了损坏产品的可能性。在传统洁净室中，粒子事件的监测难度更大。在微环境中，粒子事件的发生时间通常很短暂，而且是局部的。仅仅使用测试晶圆进行点的监测是不够的。如果没能及时发现粒子事件，将会给生产造成很大的损害。

精准质控始自精准监测

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