微环境过程监测仪：MiniNet

粒子源发出一束粒子流，朝着气流、地心引力和静电吸附压力的方向移动。在微环境中，粒子时常停留在一个局部区域之中，在容器的中心不太容易将其发现。

用5-7个采样点，多点采样就增加了覆盖面，从而增加粒子的发现机率。这就增加了合格产品的出产率。

7 vs. 1

现场研究：300 mm Fab

从 300 mm fab的晶片工具架中收集数据。MiniNet从 7个位置上采样，采样覆盖了整个微环境，通常在门或机械手/轨道下面6英尺处。Lasair® 110 （1 立方英尺流量时的精度是0.1微米）从中心采样，也在6英尺以下。

如右侧的曲线图所示，MiniNet（红色）发现了单点粒子监测仪所忽略的很多粒子。此外，MiniNet计算了高数量的粒子，并较长的时间内持续监测这些粒子。

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精准质控始自精准监测

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