环境监测仪：MiniNet
MiniNet是一项重大的技术突破。它大大 增加了粒子监测的覆盖面积，保护产品 免受粒子事件的危害。这款结构紧凑的 单机仪器具有全面的粒子监测功能、多种 环境参数、扩大的监测面积，它为低成本 粒子监测设备设定了最高标准。
MiniNet 规格说明 (335.4 KB)
好处
减小缺陷率
- 监测微环境保护设备的故障
- 采用多点同时采样技术，监测整个微环境中的粒子事件，而非仅仅监测单点上的粒子事件
- 报警功能使得用户能够对粒子事件或其它状况做出迅速反应
- 实时监测影响制程的粒子事件
提高生产效率
- 使用Facility Net软件全面管理微环境
- Facility Net软件简化了系统设置和支持
- 通过测量差动气压快速测定粒子源
- 简化IT工作，减少技术支持要求
- 简便的工具整合程序
- 通过监测潜在的故障点，全面提高微环境的可靠性
降低成本
- 结构紧凑的单机仪器提供全面的粒子监测方案
- 将多台传感器整合一体，具有单一数据输出口
- 减少安装的时间和成本
- 比非集成系统占用更小的安装空间
- 容易清洗；粒子截留最少
- 激光二极管降低维修保养要求
- 多点同时采样技术提供最大的监测覆盖面积、最好的生产保护，每个制造工具无需使用多台粒子传感器
请参阅以下内容了解更多信息：
本款粒子监测仪经CE认证。
MiniNet® 是粒子监测系统有限公司的注册商标。
美国专利和应用：美国 6615679; 英国 2382139, 其它国家专利正在申请之中。
法律声明
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