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腐蚀工作台监测

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Products

Liquistat Liquid Optical Particle Counter for DI water and chemical applications

液体光学粒子计数器： Liquistat

体积采样，采用“Inviscid Jet”专利技术

灵敏度

0.1 µm

样本用量

50 ml/分钟

零计数

<20 cts/L

Chemical Particle Counter: CLS 1000

腐蚀性液体采样器: CLS 1000

监测温度高达90℃的化学液体

灵敏度

0.1 µm

样本用量

40 - 80 分钟

零计数

< 100 cts/L

N
E
W

Chemical Particle Counter: CLS 700

腐蚀性液体粒子记数器: CLS 700 T

监测温度高达150°C的大多数液体化学品

灵敏度

0.2 µm
0.3 µm
0.5 µm

样本用量

50 ml/分钟
80 ml/分钟
80 ml/分钟

零计数

<25 cts/L
<15 cts/L
<15 cts/L

Particle Monitoring Software

SamplerSight 批次采样软件

SamplerSight是一款非常容易使用的软件，用于控制液体的批次监测系统。它以直方图、时间图、表列等简便易用的格式向用户提供全面的批次样本数据，数据可以直接用于报告之中，从而为用户节省时间和费用。

N
E
W

DI water particle counter: Ultra DI 50

液体光学粒子计数器：Ultra DI

监测小到0.05µm粒径的粒子污染

灵敏度

0.05 µm

样本用量

3.75 ml/分钟

零计数

<50 cts/L

LiQuilaz Particle Counter

液体粒子计数光谱仪: LiQuilaz

对多数制程化学品进行高精度分析，包括温度高达150℃的氢氟酸和其它热腐蚀性化学品

灵敏度

0.2 µm
0.3 µm
0.5 µm
1.5 µm
2.0 µm

样本用量

50 ml/分钟
80 ml/分钟
80 ml/分钟
20 ml/分钟
70 ml/分钟

零计数

<25 cts/L
<15 cts/L
<15 cts/L
<50 cts/L
<50 cts/L

精准质控始自精准监测

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