去离子超纯水监测

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Products

液体光学粒子计数器：HSLIS M50e 持续实时监测

灵敏度 0.05 µm

样本用量 0.25 mL/分钟

零计数 < 1000 ct/L

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液体光学粒子计数器：Ultra DI 监测小到0.05µm粒径的粒子污染

灵敏度 0.05 µm

样本用量 3.75 ml/分钟

零计数 <50 cts/L

液体光学粒子计数器： Liquistat 体积采样，采用“Inviscid Jet”专利技术

灵敏度 0.1 µm

样本用量 50 ml/分钟

零计数 <20 cts/L

Papers

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Click here to signup and download files (用于300 mm Fabs的超纯水粒子监测新策略) 2005年 SPWCC展示会文章

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