AiM-200: 表面分子沾染（SMC）监测仪
AiM-200是最新开发的使用声表面波（SAW）技术监测分子沾染的设备。SAW传感器具有高频、温控等特点，用于监测由有机或无机沾染物引起的关键表面上的亚单层变化量。
AiM 200 规格说明 (217.2 KB)
文章：使用表面声波 (SAW) 技术对气体悬浮分子沾染 (AMC) 的过滤进行评估 (290.6 KB)
好处
- 提高产量
- 就分子沾染程度的细微变化或突发变化向用户报警
- 测定沾染源
- 通过监测有机凝聚物或硫酸铵结晶体的生成，保护光刻设备的光学元件及光罩
- 评估化学过滤器的性能，延长过滤器的使用寿命
- 使用简便
- 具有以太网功能，简化数据传输和通讯
- 通过功能强大的Facility Net软件实时跟踪显示数据
- 传感器芯片容易拆卸，可送实验室进行识别沾染物种类的TOF/SIMS测试
- 用户可以通过控制器显示屏和按键快速检查电源和探头状态
- 软件菜单便于用户轻松完成系统设置和配置修改
- 降低成本
- 价格便宜，初始投资低
- 提供沉积物质量、沉积速度、传感器温度、相对湿度、沉积速度平均统计值等数据
- 以太网和RS-232通讯功能便于用户轻松将设备同Facility Net软件或其它数据管理软件系统相整合
- 具有亚单层级别的监测灵敏度，可以监测表面分子沾染，防止表面分子沾染对产品或制程表面造成严重破坏
- 高频传感器模拟产品表面，节省昂贵的晶圆
应用
- 光刻
- 扩散应用
- 气体净化
- 光罩和晶圆储存
- 气体处理系统
- 微环境
- 化学过滤
- 航天光学元件
- 计算机硬盘
AiM 200 规格说明 (169.1 KB)
文章：实时监测气体悬浮分子沾染（SAW）应用说明 (294.3 KB)
文章：半制造行业中监测分子沾染应用说明 (126.6 KB)
本款粒子监测仪经CE认证。
AiM® 是粒子监测系统有限公司的注册商标。
美国专利和应用：美国 5476002, 美国 5661226, 美国 6945090; 美国和其它国家专利正在申请之中。
法律声明
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