AiM-200: 表面分子沾染监测仪
它是使用表面声波（SAW）技术对分子沾染进行监测的最新技术设备。 高频、温控 SAW 传感器可以检测到有机或无机沾染物相互作用所导致的临界表面上的细微变化。
文章：使用表面声波 (SAW) 技术对气体悬浮分子沾染 (AMC) 的过滤进行评估 (290.6 KB)
好处
- 增加成品率
- 分子沾染级别的用户警报和故障变化
- 测定沾染源
- 通过监测有机凝结物和氨水结晶体的生成，保护照相平版印刷术的光学器件和十字线
- 测量损害栅氧形成的有机扩散沾染物
- 评估化学过滤器的性能，延长过滤器的使用寿命
- 监测极低级别的沾染物
- 使用简便
- 以太网功能可以简化数据传输和通信
- 通过强大的实施监测 (Facility Net) 实时显示和追踪数据
- 传感器芯片容易拆卸，可送实验室进行TOF/SIMS检测，以确定沾染物种类
- 控制器指示等和按钮使用户能够快速检查电源并查明状态
- 软件菜单系统实现了简单的设置和配置更改
- 低成本
- 低起始投资，价格便宜
- 提供附着量、附着率、传感器温度、相对湿度和平均统计附着率等相关数据
- 以太网和 RS-232 通信可以轻松集成到 Facility Net 或其他现有数据管理系统中
- 亚单原分子层灵敏度可以在对产品和制程表面造成严重破坏之前检测到 AMC 问题
- 高频二氧化硅传感器模仿硅片或光学器件表面
应用
- 照相平版印刷
- 扩散应用
- 净化气体
- 十字线和晶片储存
- 气体处理系统
- 微环境
- 化学过滤
- 航天光学
- 计算机硬盘
特点
- 监测氧化硅或铜表面上的 SMC 附着
- 监测十亿分率以下级别的SOx腐蚀
- 对表面上大量附着的检测灵敏度可达 0.0032 ng/cm2/Hz
- 取样时间间隔低至 5 秒
- 温控探针至 +/- 0.1 摄氏度
- 机载内存存储容量可以存放 50,000 个取样
- 以太网或 RS-232 通信
- 相对湿度补偿算法
- 探针可以安装在距离控制器 4 米处
- 通过 Facility Net 软件实现实时数据采集、监测和警报
- 每个控制器最多可安装 2 个探针，从而扩大了潜在监测区域
- 提供标准气体探头和流体通过式气体探头
AiM 200 规格说明 (169.1 KB)
文章：实时监测气体悬浮分子沾染（SAW）应用说明 (294.3 KB)
文章：半制造行业中监测分子沾染应用说明 (126.6 KB)
本款粒子监测仪经CE认证。
AiM® 是粒子监测系统有限公司的注册商标。
美国专利和应用：美国 5476002, 美国 5661226, 美国 6945090; 美国和其它国家专利正在申请之中。
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