使用点离子迁移分光计：AirSentry II
AirSentry II 是粒子监测系统有限公司最新设计的气体悬浮物分子沾染（AMC）监测仪，其功能十分强劲。新型的离子迁移谱痕量气体监测分析系统 （IMS）具有ppt级灵敏度、快速反应、更广的可选性等优点。该设备可以持续覆盖关键监测点，带有中央软件平台，数据采集和分析非常方便。
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好处
- 持续监测关键点位置
- 单外接校准系统，确保分析仪之间相互匹配
- 耐久可靠的数据采集、控制、分析性能
- 无移动部件
- 无需频繁维修保养
应用
- 外露光学部件 – 薄雾及保修数据
- 掩膜阶段 - 掩膜薄雾
- 抗蚀跟踪 – 扩散/形成污染（“T”形顶）
- 掩膜检查工具和储料器 -贮存室污染
- 洁净室环境监测 – 基线污染
- 再循环空气分析 – 污染
特点
- 70 ppt 检测极限
- 专利的IMS技术
- 0-50 ppb 动态范围
- 设计小巧、紧凑
- 通过以太网接口向 Facility Net 软件输出数据
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