移动监控系统快速检测、定位和排除分子污染源

摘要

减少检测时间,控制和减轻至非常低水平的空降污染(AMC)对高科技制造商来说正变得越来越重要。 与AMC相关的质量问题和产量损失相关的成本是很清晰的,AMC的适当减少对于清洁制造商的竞争性保持是至关重要的。 技术人员需要灵活性,在清洁环境中的任何地方,在维护样本计划的任何地方高效收集AMC数据,并在故障排除事件期间收集站点特定数据以收敛到AMC报警源。 这些是开发移动AMC检测系统的驱动因素,可以快速部署到特定的净室位置,以建立AMC浓度的实时反馈图。

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