影响液体中微气泡的因素

概论

Factors Affecting Microbubbles in Liquids

在半导体制造行业,微气泡(气泡小于直径10 µm)能减少制造产量里的污染物。例如,如果在光致抗蚀剂里的微气泡分散到晶片上,它们会导致微电路缺陷从而引起过早的失败。文本讨论的是影响液体中微气泡的因素和微气泡如何利用光粒子计数器从重粒子中区分出微气泡。常用的光阻材料溶剂和二醇甲醚醋酸酯在水中呈现的实验结果,与理论知识进行比较。

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