您能否肯定您的产品不会受到分子沾染的危害？您的分子沾染监测系统能够提供清晰准确的监测数据吗？使用连续、可靠、精确的分子沾染监测，能够防止产品损失和生产停顿。以下是有关分子沾染监测的最新信息。

标题

  • 分子沾染监测仪
    • AirSentry II AMC 监测仪
    • 表面分子沾染（SMC）监测仪：AiM-200
  • 网上直播：ITRS路线图
  • 技术文章: 用于光学平版印刷的优化式AMC监测
  • 近期演示
    • 连续监测分子沾染以防面罩起雾
    • 兆分之一级的AMC监测
  • 系统支持
  • 现场调查测试服务
  • 常见问题及回答
分子沾染监测仪
AirSentry II AMC 监测仪
AirSentry II 是一款价格便宜的连续AMC监测仪，具有70ppt级监测灵敏度，其性能在同类产品中名列前茅。这种实时监测仪既可以对关键监测点进行短期粒子事件的监测，又可以对关键监测点进行长期AMC粒子趋势的监测。查阅详细资料

表面分子沾染（SMC）监测仪：AiM-200
该设备使用表面声波（SAW）技术进行分子沾染监测。 高频、温控的表面声波传感器可以检测到有机或无机沾染物相互作用所导致的关键表面上的细微变化。查阅详细资料

网上直播：ITRS路线图

粒子监测系统有限公司将就国际半导体技术发展路线图（ITRS Roadmap）举办网上直播，请访问下列网页：http://www.semiconductor.net/webcastsDetail/2140132136.html

技术文章

我们的网上文章库中有我公司的技术专家撰写的深受用户欢迎的技术文章，供您每周7天、每天24小时随时阅读，是您快速了解分子沾染监测的好渠道。请浏览文章标题，找到最适用于您的具体应用的文章。

用于光学平版印刷的优化式AMC监测
专用的分子沾染监测仪建立在离子迁移光谱（IMS）技术的基础之上，能够实时监测NH3和SO2的粒子沾染事件，并提供PPT级的长期平均粒子趋势。阅读全文

近期演示

我们近期将举办有关分子沾染监测的演示会，其中包括：

连续监测分子沾染以防面罩起雾
科学技术的发展使人们能够进行连续实时监测，并大大提高了监测的灵敏度和稳定性，同时最大程度地减小了采样管对分子监测产生的影响。粒子监测系统有限公司的 Dan Rodier 将于4月18日星期五在“2008年日本国际光刻展览会（Photomask Japan 2008）”上介绍该篇技术论文。

兆分之一级的AMC监测
一种新型离子迁移谱仪已经问世，该设备能够实时监测兆分之一级的粒子浓度，适用于监测处在关键使用点上的裸露工具、空气调节器、生产洁净室等。粒子监测系统有限公司的 Steven Rowley 将在“先进光刻技术展览会（Advanced Lithography）”上介绍该篇技术论文。请到206号展台参加演示会。

常见问题及回答

我们的技术专家非常乐于为您解答疑难问题。请将您的问题发给我们，我们的技术专家将直接与您联系。您也可以阅读我们的网上常见问题及解答，以解决您的应用难题。

如果您有问题要问，或者需要产品报价或技术支持，请和我联系。

Ed Terrell
Particle Measuring Systems
(303) 944-9293
eterrell@pmeasuring.com

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