Monitora Contaminação por partículas em ambientes de pequeno tamanho - Minienvironments (252.1 KB)

Aproximadamente 90% das partículas em 'Minienvironments' mininet são geradas por ferramentas do processo, freqüentemente como uma parte normal da operação. Monitoramento em um ambiente de pequeno tamanho - ou 'Minienvironment' - exige várias mudanças ao monitoramento na sala limpa.

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