Documentos sobre monitoramento da contaminação molecular na sala limpa

Optimized Molecular Contamination Monitoring for Lithography (305.2 KB)

Uma nova proposta no monitoramento da contaminação molecular na litografia é apresentada. Recentes avanços técnicos tornaram possível a execução do monitoramento continuo em tempo real, com significantes progressos na precisão e estabilidade, minimizando os efeitos das amostras de tubos.

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Monitoring Airborne Molecular Contamination (659.7 KB)

Uma variedade de tecnologias tem sido usada no monitoramento em tempo real e de amostras extemporâneas. Usar uma combinação das duas técnicas de monitoramento propicia o mais alto nível de controle, os menores limites de detecção e os dados o mais detalhados possível em termos de especiação. Este estudo usa comparações de dois monitores diferentes em tempo real que operam paralelamente com impactadores líquidos e tubos sorventes secos para medir padrões de gases certificados pela NIST e amostras reais.

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A espectroscopia de mobilidade iônica (IMS) conquistou aceitação difundida em várias aplicações que detectam e identificam moléculas de contaminantes. Este artigo investiga como a tecnologia da IMS funciona, examina várias indústrias que usam monitores de IMS e discute aplicações e exemplos de monitoramentos.

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Presentation: Part-Per-Trillion Monitoring of Airborne Molecular Contamination (AMC)

Presentation: Part-Per-Trillion Monitoring of Airborne Molecular Contamination (AMC) (203.2 KB)

In AMC Monitoring, Simple Designs Go A Long Way

In AMC Monitoring, Simple Designs Go A Long Way (189.6 KB)

Over the past several years, different sensor and detection technologies have been adapting themselves by increasing their complexity in order to meet the requirements needed for effective (Airborne Molecular Contamination) AMC monitoring. Complex designs only add to the uncertainty in the measurement by introducing opportunity for the sample to be altered prior to detection, or by creating potential hardware failure points which require regular preventative maintenance. For AMC monitoring equipment, the principle of Occam's razor appears to ring true - "All other things being equal, the simplest solution is best."

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Monitoramento de NMP e amônia em salas limpas com o uso da espectroscopia de mobilidade iônica (220.8 KB)

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Monitores em tempo real: exame e aplicações da litografia, 2005 (3.0 MB)

Publicado na Semiconductor Fabtech 27ª edição. Autor Robin Danfelt, Nikon Precision.

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