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Espectrômetro de mobilidade iônica de ponto de uso: AirSentry® II

O mais novo monitor de contaminação molecular por partículas aerotransportadas da Particle Measuring Systems, o AirSentry® II, foi projetado pensando-se no desempenho. A nova célula de espectrometria de mobilidade iônica fornece precisão em ppt, resposta rápida e maior seletividade. A cobertura contínua de um ponto de monitoramento crítico e uma plataforma de software central permitem fácil obtenção e análise de dados.

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 Molecular Contamination Monitor: AirSentry II 
   

Vantagens

  • Monitoramento contínuo de um local de ponto de uso crítico
  • Uma única estação de calibragem externa garante que os analisadores estejam equiparados
  • Obtenção, controle e análise de dados rigorosos e confiáveis
  • Inexistência de partes móveis
  • Manutenção infreqüente

Aplicações

  • Óptica de exposição: dados de garantia de lentes e névoa
  • Estágio de retículo: névoa de retículo
  • Controle de revestimento: expansão/desenvolvimento de contaminação (t-topping)
  • Depósito e ferramenta de inspeção de retículo: contaminação de armazenamento
  • Monitoramento de sala limpa: contaminação de linha de base
  • Análise de composição e de ar recirculado: contaminação

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O AirSentry® é uma marca registrada da Particle Measuring Systems.

Sem medição não há controle.
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