Monitoramento de nanopartículas em ambientes de fabricação ultralimpos

Resumo

NP Monitoring in Ultra-Clean Mfg Environments

Com sensibilidade de 10 nm, o Contador de Nanopartículas Nano-ID® NPC10 serve de ponte entre a contagem óptica convencional de partículas de aerossol a 0,1 μm (100 nm) e a contaminação molecular aerotransportada em escala sub-nm. Dados experimentais e de campo demonstram que ambientes Classe 1 e 2 da ISO, que possuem concentrações muito baixas de partículas maiores que 100 nm, podem possuir concentrações muito maiores de nanopartículas. Isso sugere que o atual sistema de classificação da ISO talvez seja insuficiente para descrever adequadamente a limpeza dos ambientes de alta pureza necessários para a fabricação de dispositivos eletrônicos avançados. Esta nota de aplicação apresenta dados de comparação entre um Contador de Nanopartículas Nano-ID NPC10 e um contador óptico de partículas tradicional em ambientes Classe 1-4 da ISO, os desafios associados ao teste nesses níveis de concentração de partículas e uma comparação lado a lado de dois Contadores de Nanopartículas Nano-ID NPC10.

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